體積表面電阻率試驗機核心測試要求

技術(shù)指標(biāo)

測量范圍

電阻范圍：0.01×10?Ω 至 1×101?Ω，覆蓋從導(dǎo)電材料到超絕緣材料的全量程。

電流分辨率：需達到 0.1fA，滿足半導(dǎo)體器件暗電流測量需求。

精度要求

基本誤差：±1%（10?Ω 至 101?Ω），超出此范圍誤差需＜±5%。

溫度漂移：每 10℃變化引起的誤差＜±2%，需內(nèi)置溫度補償功能。

行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

電子行業(yè)

PCB 基板：環(huán)氧樹脂材料體積電阻率需＞101?Ω?m，表面電阻率＞1013Ω。

鋰電池隔膜：體積電阻率＞101?Ω?m，表面電阻率＜10?Ω，確保離子導(dǎo)通與電子絕緣平衡。

新能源領(lǐng)域

光伏封裝材料：表面電阻率需＞1012Ω，防止靜電積累導(dǎo)致組件失效。

導(dǎo)電油墨：體積電阻率＜10??Ω?m，需使用四探針法驗證。

航空航天

耐高溫材料：在 200℃下體積電阻率需＞101?Ω?m，符合 GJB 105 標(biāo)準(zhǔn)。

碳纖維復(fù)合材料：表面電阻率需＜10?Ω，確保電磁屏蔽性能。

校準(zhǔn)與維護

校準(zhǔn)周期

常規(guī)校準(zhǔn)：每半年使用標(biāo)準(zhǔn)電阻器校準(zhǔn)一次，保存校準(zhǔn)記錄。

特殊情況：維修后或測試結(jié)果異常時需重新校準(zhǔn)。

維護要點

電極保養(yǎng)：每月清潔電極并涂抹防銹油（如 CRC 33 型），防止氧化。

電路檢查：每季度檢查高壓模塊輸出穩(wěn)定性，紋波需＜1%。

體積表面電阻率試驗機典型行業(yè)應(yīng)用案例

電子元器件制造

案例 1：某半導(dǎo)體企業(yè)使用三電極系統(tǒng)測試晶圓切割膠帶，表面電阻率需＜10?Ω，確保器件在加工過程中不受靜電損傷。

案例 2：電容器生產(chǎn)中，通過測試介質(zhì)材料的體積電阻率（＞101?Ω?m），評估其絕緣性能。

新能源材料研發(fā)

案例 3：鋰電池隔膜生產(chǎn)線采用在線測試，實時監(jiān)控體積電阻率（＞101?Ω?m）與表面電阻率（＜10?Ω），確保產(chǎn)品一致性。

案例 4：光伏封裝材料測試中，通過測量表面電阻率（＞1012Ω），驗證其抗靜電能力。

航空航天材料認證

案例 5：某軍工企業(yè)對碳纖維增強樹脂進行耐輻射測試，在 γ 射線輻照后體積電阻率變化需＜±10%。

案例 6：耐高溫陶瓷材料在 500℃下的體積電阻率需＞1013Ω?m，滿足衛(wèi)星部件的絕緣要求。